至純グループからマイクロ半導体は国内のハイエンド集積回路装備分野の代表企業として、ハイエンド集積回路Wet processの生産、販売を主業とし、wet process single&bench toolを重点的に発展させ、集積回路製造（論理/記憶体/三次元IC）、化合物半導体、先進パッケージ、マイクロ電気システムなどの分野に広く応用されている。マイクロwet process bench tool（6寸、8寸、12寸）まですでに百台以上の設置実績があり、顧客の認可を得ている。12インチwet process single toolはすでに機台が検収し量産に投入され、すでに重複注文を受けており、現在も多くの高次プロセス（14/28 nm）関連技術が応用検証中である。