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合肥市政府副市长路军，新站高新区党工委书记、管委会主任王连贵，区党工委副书记、管委会副主任蓝天，上海至纯集团董事长蒋渊，合肥至微半导体有限公司董事长廖世保等出席量产仪式，相关行业协会以及上下游合作企业代表参加。

该项目投资约10亿元，包括晶圆再生和半导体部件再生。其中，晶圆再生项目是服务于中国半导体高阶市场的首条投产的12英寸晶圆再生产线，不仅填补了产业链的空白，也为合肥打造“中国IC之都”提供了强劲支撑。

上海至纯洁净系统科技股份有限公司成立于2000年，致力于半导体设备、半导体工艺系统以及相关专业服务，2017年初在上交所上市。合肥至微半导体有限公司，是至纯科技旗下半导体晶圆再生和部件再生项目的载体，为集成电路企业12英寸晶圆提供晶圆再生及零部件再生服务。晶圆再生指的是通过去除损耗控挡片表面的杂质和缺陷，使处理后的晶圆达到新片的标准，实现其循环再利用，进而为企业节约大量成本。至微项目以14纳米晶圆厂的再生晶圆需求为设计基础，是服务于中国半导体高阶市场的首条投产的12英寸晶圆再生产线。项目全面达产后，可形成每年168万片晶圆再生及120万件零部件清洗的能力，满产后年产值至少可超过6亿元。

合肥至微半导体鸟瞰

项目的成功量产，来之不易。从2020年3月开工起，一直在努力克服新冠疫情的干扰。对此，至纯集团董事长蒋渊也深有感触。“当初我们被合肥的产业布局格局吸引，被新站的务实作风打动，决定将至纯科技的晶圆再生业务落地在此。经历新冠疫情的影响，我们克服了很多困难，在年内就完成了大部分设备的搬入，今年的3月，工厂开始试生产。到这个月，随着ISO认证的顺利通过，已经有了正式订单开始量产。”她表示，企业将重研发，抓质量，立志成为国内领先的半导体工艺装备材料提供商，代表本土品牌参与国际竞争。

新站高新区党工委书记、管委会主任王连贵在致辞中指出，将继续主动为企业提供精准服务，支持企业发展，促进项目量产后尽早达产满产，推动合肥集成电路产业更加高质量发展。